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YH2M8155 四轴精密单面研磨（抛光）机

该机用于阀板、阀片、磨擦片、刚性密封圈、气缸活塞环、油泵叶片等金属零件，以及硅片、晶圆、石英晶体、玻璃、陶瓷、蓝宝石等非金属硬脆性材料的单面研磨和抛光。

关键词

YH2M8155 四轴精密单面研磨（抛光）机

所属分类

典型加工零件

典型加工零件

硅片

蓝宝石

设备亮点

设备亮点

● 本机采用偏心行星式运动方式。

● 工件盘、抛光盘采用减速机直联驱动，变频器调速。

● 采用气缸+电气比例阀精确控制压力大。捎么ッ屏+PLC控制方式。

技术参数

技术参数

项目	单位	参数
精密下盘尺寸	mm	φ1422 x 145
压盘尺寸及材质	mm	φ550/SUS304平面度≤5um
设备重量	T	9
设备尺寸（LWH）	mm	2255 x 1875 x 3300
盘面温度检测系统	-	具备
抛光液供给系统	-	具备
PP头冷却系统	-	可选配
下盘冷却系统	-	具备
上压盘电机强制驱动旋转(上驱动) 4套	-	具备
车刀伺服系统	-	可选配
全工艺控制系统	-	具备/可编写10个步骤工艺（50recipe）
历史数据存储及读取系统（温度、转速、时间、压力）	-	具备
水枪及气枪	-	具备
上压盘压力及精度	-	单个压盘最大压力500kg/ea 最小压力40kg/ea 压力波动及误差3%以内
适用电源	-	供电电压：380V±10%/220V±10%，供电频率：50Hz±2%
设备功率	kW	≦30
气源压力需求	Mpa	末端压力：0.5～0.7
冷却水需求	-	压力：2-4kg/cm2，流量：10-16L/min。温度：8-18℃
环境需求	-	环境温度：0℃-45℃